EUVタイプのフィルム市場予測：次世代半導体向けCNT技術と競争動向
図. EUVタイプのフィルムの製品画像

【市場規模と成長見通し】
YH Researchによると、世界のEUVタイプのフィルム市場は、2025年の1億1,100万米ドルから2032年には1億9,000万米ドルへ拡大し、2026～2032年の年平均成長率（CAGR）は8.1％と予測される。EUVタイプのフィルムは、極端紫外線（EUV）リソグラフィーで使用するフォトマスクを微粒子汚染から保護する超薄膜であり、波長13.5nmの露光工程に不可欠な材料である。AIや高性能コンピューティングの普及に伴い、7nm以下の先端半導体製造における需要拡大が市場成長を支えている。
図.  EUVタイプのフィルム世界総市場規模

上記の図表／データは、YHResearchの最新レポート「グローバルEUVタイプのフィルムのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2026」から引用されています。

【技術動向：透過率と耐熱性の向上】
EUVタイプのフィルムでは、露光光の透過率、機械的強度、熱安定性、欠陥の少なさを同時に実現する必要がある。従来のDUV用ペリクルと異なり、高真空、高出力のEUV照射、高い熱負荷に耐えながら、露光エネルギーや画像形成品質への影響を最小限に抑えることが求められる。当初は多結晶シリコンを中心とする単層構造が採用されたが、2021年以降は二ケイ化モリブデン（MoSi₂）とシリコン（Si）を組み合わせた複合多層構造への移行が進んだ。原資料では、EUV透過率（EUVT）は約82％から約90％へ向上したとされる。
【次世代材料：CNTペリクルの実用化】
EUVタイプのフィルムの次世代技術として注目されるのが、カーボンナノチューブ（CNT）膜である。先端露光装置では光源出力が500Wを超える水準に達しており、従来材料では熱負荷や機械的ストレスへの対応が課題となる。CNTは高い透過率、耐熱性、強度を兼ね備える候補材料であり、次世代EUV工程への適用が期待される。一方、量産化には膜厚の均一性、寿命、ガス透過性、欠陥管理、製造再現性の確保が必要である。EUVタイプのフィルムでは、材料性能だけでなく、実際の露光装置での評価と安定供給体制が競争力を左右する。
【主要企業と最新の開発動向】
EUVタイプのフィルム市場では、三井化学、信越化学工業、FINE SEMITECH（FST）、S&S Tech、Canatu、リンテックなどが主要企業として挙げられる。三井化学はimecとCNTペリクルの商業化に向けて協業しており、2025年11月に公表した資料では、次世代CNTペリクルの2027年投入を計画している。<Cite refs={["turn841879search28"]}/> また、Canatuは2026年8月、FSTからCNT膜製造向け追加リアクターの受注を発表した。装置は2027年の納入予定で、CNTペリクルの生産能力拡大に向けた協業が進んでいる。<Cite refs={["turn841879search0"]}/> こうした動きは、EUVタイプのフィルムが研究開発段階から量産体制の構築へ移行しつつあることを示している。
【用途別・地域別市場分析】
EUVタイプのフィルムの用途は、ロジックIC、メモリーIC、その他に分類される。AI半導体や高性能演算向けロジックICでは微細化への対応が重要となり、DRAMなどのメモリー製造でも先端露光技術への需要が市場機会を形成する。地域別では、北米、欧州、アジア太平洋、南米、中東・アフリカが分析対象となり、日本、中国、韓国を含むアジア太平洋地域は、材料開発と半導体製造の両面で重要な位置を占める。市場参入企業には、顧客の技術認証、量産歩留まり、供給安定性を踏まえた地域別戦略が求められる。
【市場調査の範囲と今後の展望】
YH Researchのレポートは、2021～2025年の実績と2026～2032年の予測を基に、世界および日本の販売数量、売上高、平均価格、企業別市場シェア、生産能力、地域別需要、産業チェーンを分析する。さらに、シリコン系EUVペリクルとCNT系EUVペリクルの製品区分、企業プロファイル、技術開発、競争順位を網羅する。今後のEUVタイプのフィルム市場では、透過率と耐熱性の向上に加え、欠陥抑制、長寿命化、量産コストの最適化が重要となる。市場規模だけでなく、技術成熟度と商業生産への移行状況を総合的に評価することが、半導体材料分野の投資判断と事業戦略の精度向上につながる。
本記事の内容は、YH Research株式会社の調査レポート「グローバルEUVタイプのフィルムのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2026」のデータを基に作成しています。
https://www.yhresearch.co.jp/reports/1411591/euv-type-film

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